单家服务机构年度奖励金额最高40万元，在下一年度分别给予该众创空间和孵化器运营机构20万元和50万元的一次性奖励，在下一年度分别给予该众创空间和孵化器运营机构30万元和80万元的一次性奖励，在下一年度分别给予该众创空间和孵化器运营机构40万元和100万元的一次性奖励，在下一年度分别给予该众创空间或孵化器运营机构20万元、100万元和300万元的一次性奖励，在下一年度给予该平台运营机构3万元的一次性奖励，单家运营机构每年奖励金额最高120万元，按每家企业单项10万元的标准在下一年度给予创业孵化平台运营机构奖励，单家企业每年奖励金额最高500万元，按其自然年度通过高新区智能制造服务平台实际实施项目情况予以奖励，单家服务商每年奖励金额最高300万元，在下一年度分别给予50万元、100万元、200万元的一次性奖励，可按园区工业企业自然年度通过其实际购买设备和服务总金额的4‰给予智能制造服务平台运营商奖励，单家机构每年奖励金额最高100万元，单家机构每年奖励金额最高100万元。