位于东莞松山湖的中国散裂中子源探测器团队成功制备出目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜，中子探测器关键技术在东莞实现国产化，中国散裂中子源(CSNS)探测器团队利用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，成功制备出满足中子探测器需求的高性能大面积碳化硼薄膜样品，是目前国际上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜，而中子探测器就像这个大科学装置的“眼睛”，▲自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置基于硼转换的中子探测器因其优异的性能已成为当前国际上研究的热点，如何制备出高性能中子转换碳化硼薄膜是其中最核心的技术，开始研制一台磁控溅射大面积镀硼专用装置，镀膜厚度范围为0.01~5微米，▲高性能大面积碳化硼薄膜样品经过多年的技术攻关和工艺试制，利用该装置制备了多种规格的碳化硼薄膜，并成功应用于CSNS多台中子谱仪上的陶瓷GEM中子探测器，实现了中子探测器关键技术和器件的国产化，为接下来研制更大面积的高性能新型中子探测器提供了强有力的技术支撑。