分别给予200万元、500万元、1000万元、2000万元、3000万元、5000万元的一次性奖励，支持企业投资项目建设，对投资新建在建、增资扩产的集成电路装备整机和关键零部件项目，《若干措施》鼓励企业围绕产业链、供应链需求，引进省外具有独立法人资格的集成电路装备整机及关键零部件配套企业（项目）入驻辽宁省集成电路装备及零部件产业园，给予招商企业最高1000万元奖励，按照实际履约金额的10%给予供应链配套企业奖励，对集成电路装备整机和关键零部件制造企业首次销售自主研制的集成电路装备整机或核心零部件产品，对上一年度营业收入在5亿元（含）以下、研发投入比例不低于10%，营业收入在5亿元（不含）至10亿元（含）之间、研发投入不低于7%，营业收入在10亿元（不含）以上、研发投入不低于5%的集成电路装备整机企业和关键零部件制造企业，给予实际研发投入的30%、最高1000万元的研发补助，《若干措施》鼓励企业打造人才培育体系，对在当地缴纳个人所得税满一年的集成电路装备整机和关键零部件制造企业高端人才和紧缺人才，专门对企业高端人才给予支持奖励。